2024年08月13日快讯 日本宣布开发出新技术,可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本
2024-08-13 14:01:07
•
来源:
导读
2024年08月13日转载:界面新闻网
8月13日消息,日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术,可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本...
2024年08月13日转载:界面新闻网
8月13日消息,日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术,可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。以EUV光源为中心,整体耗电量可减至原来的约十分之一。设备的结构也可大幅简化,因此当前估计需要200亿日元左右的设备引入成本几乎可以减半。
该大学将与企业合作,力争实现这种设备的日本国产化。(日经新闻)
文章转载自:界面新闻网 非本站原创 如有问题可与站长联系!!!
版权声明:转载此文是出于传递更多信息之目的。若有来源标注错误或侵犯了您的合法权益,请作者持权属证明与本网联系,我们将及时更正、删除,谢谢您的支持与理解。
关键词: